专利信息
公开号:CN 223505056 U
申请号:2024228812733
申请日期:2024/11/25
公告公布日期:2025/11/4
专利名称:一种多层冷阱装置
专利摘要
本实用新型提供了一种多层冷阱装置,包括第一壳体、第二壳体、第三壳体、进气管和出气管。其中,第二壳体设置在第一壳体内部,在第一壳体和第二壳体之间形成介质空间。第三壳体内部设置有介质腔,第三壳体设置在第二壳体内,使得第二壳体和第三壳体之间形成流动空间。进气管和出气管分别连通流动空间,使得抽出的气体能够依次沿进气管、流动空间和出气管流动。介质空间和介质腔内同时放置有低温介质,在第二壳体的内壁和第三壳体的外壁形成冷面,即在流动空间内形成双冷面,扩大了流动空间内的冷面的面积,增大了冷面与流经流动空间内的气体的接触面积,进而对流经流动空间内的气体分子进行捕捉,并提高冷阱的吸附能力,提高抽真空效率。
申请人:石家庄安瑞科气体机械有限公司
发明人:孟启星,韩越,侯佳乐,齐立军,刘博,温菲,王红霞